編號項目：S48 32/HMT質量流量計 規格(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min

(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min2調節閥類型電磁調節閥3調節閥靜止狀態常閉4安裝角度任意5流量控制范圍2%～100%6流量測量范圍0～100%7響應時間2s（T98，設定值的±2% F.S.）8工作環境溫度5℃～50℃9精度保證溫度15℃～35℃10精度±1.0%F.S.11線性精度±0.5%F.S.12重復性±0.2%F.S.13工作壓差～5L/min (50～300)kPa(D)
5L/min～10L/min (100～300)kPa(D) 
30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)14耐壓3MPa15泄漏率1×10-8 Pa•m3/s （He）16接觸氣體材料316L,PTFE,Viton氟橡膠17管路接頭Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″18供電電源±15VDC(±5%)  +15V＜100mA,-15V＜150mA+24VDC(寬電壓+11～+25V),
＜250mA(+24Vdc供電時)19設定信號(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）20流量輸出信號(0～5)VDC 負載能力≤3mA21電氣接頭D-SUB15,D-SUB922重量(kg)0.9

S48 32/HMT質量流量計  安裝尺寸圖：